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拉曼光谱已被证明是表征半导体特性和制造工艺/质量控制的最有效工具之一,因为硅、锗硅、铟镓砷、砷化镓、氮化镓和石墨烯等材料都显示出精确、独特的拉曼光谱带。拉曼技术已成功应用于微观方法,以确定薄膜上的微观结构组成、多层器件中的应变以及识别整个晶片表面的缺陷。

 

Graphene Analysis by Nomadic Raman Microscope.pdf